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15720490226 所谓低温等离子体的状态就是在等离子体中原子、 分子、电子、离子的状态。而这些状态是通过不同的等离子体诊断方法而得到的，这些状态是与不同类型的等离子体装置，放电条件，气压条件等有关。而等离子体是低温等离子净化器中的主要配件，了解低温等离子体状态就成为必要的工序，我公司对于获取低温等离子体的诊断方法如下：
1.光谱诊断。光谱诊断主要是发射光谱。发射光谱法通过对等离体本身所发出的光进行分光分析，来测定等离子体中存在的分子、原子的激发和电状态。根据测得的发光强度可确定活性粒子的浓度并计算出电子温度等。发射光谱需要分子获得较高的能量。
2.质谱法。质谱法可对等离子体的组成粒子，特别是离了进行直接的测定。一般是在线测量，即通过差动排气法将等防体的组成粒子，特别是离子进行直接的测定，以鉴定等离子体中的粒子种类。如果再与能量分析仪组合，则可测量这些粒 子的能量。
3.静电探针。这种方法是由Longmuir发明的探测等离子体特性的一种方法。由于简单且用途多，一直沿用至今。对直流辉光放电，等离子体的电位有确定值，可用单探针法，对高频放电，微波放电等，则用单探针结合补偿探针或双探针法。通过测量探针特性，即测量液入探针的电流和加到探针上的偏压之间的关系，来推算同等离子体中的电子温度，离子密度及等离体电势。
4.其它。一些新的方法如电子顺磁共振（EPR），激光诱导荧光法(LIF)，来测等离子体中原子、分子的电子态，微波干涉测量电子密度等。
通常要采用多种方法来互相验证，才能确定等离子体状态。
低温等离子体的状态不同所采用的废气净化方法就不同，效果也自然不同，乐虎-lehu(国际)唯一官方网站司专业针对废气处理设备中采用等离子体的工程进行研究，小具成效，相关有机废气处理工程可联系乐虎。1572049，0226
本文：低温等离子体状态信息获取的几种基本的诊断方法
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